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广东石墨舟薄膜材料外延生长工艺介绍

来源:http://guangdong.mishansm.com/news466606.html发布时间:2020/9/18 17:41:00

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  薄膜材料外延生长工艺有液相外延(LPE)、金属有机化合物化学汽相淀积(MOevD)、分子束外延(MBE)、汽相外延(VPE)等多种方法。由于液相外延具有操作简单、温度低、重复性好、成本低廉等优点,它是制作半导体薄膜材料广泛采用的一种方法。在液相外延中,首要任务是对石墨舟进行热处理,以除去外延舟内的杂质,降低外延片杂质浓度,从而获得高质量的外延片,为制作高性能器件提供有效保证。


  由于在重复生长外延片的过程中,上述掺杂杂质在高温下易挥发而吸附在石墨舟舟体上。以至于影响外延片进行正常的掺杂及组分浓度控制。因此必须对石墨舟进行高频热处理。石墨舟高频热处理是把3.0-6.5kv的输出电压,加在输出感应线圈上,产生高频交变电磁场.石墨舟产生涡流而发热,从而使吸附在石墨舟上的杂质得到较高能量而摆脱舟体内碳原子的束缚,再通过抽高真空系统排出,达到清洁石墨舟的作用。

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